目前,國內已經成功解決了高純氨、三氟化氮、氧化亞氮、六氟化硫等電子氣體品種的供應問題。其中,三氟化氮、六氟化鎢、四氟化碳等已經成為國內主流12寸晶圓Fab廠商生產線上的重要角色。
並且值得一提的是,我國已經掌握了製造晶片的關鍵氣體——氟化氫的原材料螢石。根據統計數據顯示,全球去年的螢石儲量達到了3.2億噸。其中,我國的螢石產量位列全球第一,達到了將近430萬噸,掌握了實際意義上的主導權和話語權。
雖然國內的電子氣體技術攻克了許多壁壘,但是部分涉及到更高標準層面的關鍵技術仍然面臨挑戰。
比如我國現在已經可以自主生產部分特種電子氣,但對於矽族氣體、含氟氣體、摻雜氣體、電子工業用同位素氣體、混配氣體等提純凈化技術、合成技術、尾氣處理技術要求更高的氣體來說,我國的供給依然短缺。
這些關鍵環節需要未來的技術積累和不斷的技術沉澱,才能實現整個產業鏈的優化。